江苏博涛智能取得柔性载台及承载装置专利,实现晶圆承载结构的快速更换
金融界2025年8月18日消息,国家知识产权局信息显示,江苏博涛智能热工股份有限公司取得一项名为“柔性载台及承载装置”的专利,授权公告号CN223230335U,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种柔性载台及承载装置,其中柔性载台包括可拆卸晶圆载盘、柔性载台基座,柔性载台基座设置有若干柔性承载机构以用于承载可拆卸晶圆载盘,可拆卸晶圆载盘包括:具有若干安装孔的环形的转接环;一端安装到安装孔的连接手臂,连接手臂的另一端设置有晶圆支撑块,连接手臂均沿连接环的径向设置且沿伸的朝向一致。
天眼查资料显示,江苏博涛智能热工股份有限公司,成立于2010年,位于苏州市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本10613.7931万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏博涛智能热工股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目144次,财产线索方面有商标信息18条,专利信息253条,此外企业还拥有行政许可29个。
来源:金融界
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